無塵車間的防靜電地板需要滿足哪些潔凈度指標？

無塵車間防靜電地板的潔凈度指標，核心是發塵量、表面潔凈度、材料析出物與靜電潔凈協同，并匹配車間 ISO 14644-1 等級（GB 50073-2013）。

一、核心潔凈度指標（地板本身）

1. 發塵量（關鍵）

• ISO Class 3（百級）：≤0.1 μg/m3/h（半導體高端）

• ISO Class 5（百級）：≤1.0 μg/m3/h（通用百級）

• ISO Class 7（萬級）：≤5.0 μg/m3/h（電子組裝）

• 測試：ISO 14644-8，密閉艙 24h 粒子釋放

2. 表面潔凈度

• 表面無粉化、起砂、裂紋、顆粒脫落

• 表面粗糙度Ra ≤ 0.8 μm（易清潔、少積塵）

• 潔凈擦拭：Class 100 無塵布擦拭無可見塵、無纖維脫落

3. 材料與析出物（半導體 / 醫藥必測）

• SEMI F72：無有機析出物（TOC＜10 μg/m2）

• 離子析出：Cl?、Na?、K?＜1 μg/cm2

• 無硅 / 無氨：避免污染光刻與敏感試劑

4. 靜電 - 潔凈協同（防靜電 + 低發塵）

• 表面電阻率：1×10?～1×1012 Ω/□（GB 50073）

• 摩擦電壓：＜50 V（EOS/ESD S20.20）

• 靜電衰減：＜0.1 s（IEC 61340-5-1）

• （靜電不達標會吸附塵埃，破壞潔凈度）

三、常用地板類型與潔凈適配

• PVC 防靜電地板：ISO 7～8，發塵低、無縫、易清潔

• 環氧自流平（防靜電）：ISO 5～7，整體無縫、Ra≤0.8 μm

• 陶瓷防靜電地板：ISO 6～7，耐磨、不起塵、耐化學品

• 鋁合金 / 不銹鋼高架地板：ISO 3～5，超高潔凈、無析出、導電穩定

四、驗收要點

1. 發塵量測試（ISO 14644-8）

2. 表面電阻 / 接地電阻（溫濕度 23±2℃，50±5% RH）

3. 擦拭測試：無塵布擦拭后無可見塵、無纖維

4. 析出物：SEMI F72 或離子色譜檢測

五、標準依據

• GB 50073-2013 潔凈廠房設計規范

• ISO 14644-1/-8 潔凈室分級與發塵測試

• SEMI F72 半導體材料析出物標準

• IEC 61340-5-1 靜電防護標準